SPEEDFAM-22B-6PV 是日本创技推出的高精度双面研磨抛光机，采用双电机独立驱动、闭环恒压控制与 PLC 智能操作系统，加工精度高、稳定性强，广泛应用于半导体硅片、蓝宝石、光学玻璃、精密陶瓷等薄片材料的双面精密研磨与抛光，满足高端制造对平面度、平行度、粗糙度的严苛要求。

SPEEDFAM-22B-6PV 双面研磨抛光机 详细参数介绍

SPEEDFAM-22B-6PV 是日本创技（SPEEDFAM）推出的高精度双面研磨抛光设备，专为半导体、光学玻璃、蓝宝石、精密陶瓷、碳化硅、金属薄片等脆硬材料高精度平面加工设计。设备采用双电机独立驱动、闭环压力控制与 PLC 智能操作系统，可实现高平面度、高平行度、低粗糙度的双面同步研磨与抛光，广泛应用于晶圆加工、光通信、电子元件、精密五金等高端制造领域，是行业内稳定可靠、精度出众的经典机型。

一、基础参数

• 设备型号：SPEEDFAM-22B-6PV

• 设备类型：高精度双面研磨抛光机

• 品牌产地：日本 SPEEDFAM（创技）

• 控制方式：PLC 全自动控制 + 触摸屏操作

• 驱动方式：双电机变频独立驱动

• 压力控制：电气比例阀闭环恒压控制

• 适用材质：硅片、蓝宝石、光学玻璃、陶瓷、石英、碳化硅、金属薄片等

二、加工规格参数

• 最大加工直径：φ425mm

• 有效加工厚度：0.2mm–30mm

• 研磨盘尺寸：φ1136mm×φ354mm×50mm

• 游星轮数量：9 个

• 太阳轮 / 齿圈：PCD=550mm，齿数 95

三、精度指标

• 平面度：≤0.5μm

• 厚度公差：±0.2μm

• 表面粗糙度 Ra：≤0.1nm（镜面抛光）

• 平行度：≤0.3μm

四、运行参数

• 上盘转速：5–60rpm（变频可调）

• 下盘转速：5–60rpm（变频可调）

• 太阳轮转速：5–50rpm（独立可调）

• 主驱动电机：7.5kW

• 太阳轮电机：1.5kW

• 工作电压：三相 AC 380V 50Hz

• 气源压力：0.5–0.7MPa

五、结构与外形尺寸

• 机身结构：高刚性铸铁机身，精密研磨加工面

• 传动结构：斜齿轮传动，运行稳定、低噪音

• 升降机构：太阳轮与内齿圈同步抬升，上下料便捷

• 设备重量：约 6000kg

• 外形尺寸：约 2200×1900×1800mm（以实际装机为准）

六、设备优势

1. 加工精度高双面同步研磨抛光，平面度、平行度、厚度一致性优异，轻松达到镜面级效果。

2. 运行稳定可靠进口核心配置，结构刚性强，震动小，适合 24 小时连续量产作业。

3. 智能自动化程度高全程序可控，压力、转速、时间、流量可编程，重复精度高，减少人工干预。

4. 适用范围广兼容半导体、光学、电子、陶瓷、五金等多种行业脆硬薄片材料加工。

5. 维护简单、寿命长模块化设计，故障自诊断，备件体系完善，长期使用成本低。

七、典型应用领域

• 半导体硅片、碳化硅晶圆研磨抛光

• 蓝宝石衬底、盖板玻璃精磨与抛光

• 光学玻璃、镜头基片、窗口片加工

• 精密陶瓷、压电晶体、磁性材料平坦化

• 电子基板、金属密封件、硬质合金薄片精密加工

---

我司长期提供SPEEDFAM-22B-6PV 双面研磨抛光机的销售、安装调试、技术支持及售后维保服务，设备成色新、精度稳定、性价比高，可满足半导体、光学、电子、陶瓷等行业高精度双面研磨抛光需求。

如需了解设备报价、现场试磨、技术方案，欢迎来电咨询或莅临现场看机，我们将为您提供专业的精密加工解决方案。

出错啦！
出错文件：root/news_show.php
出错行数：104
错误信息：mysql_fetch_assoc() expects parameter 1 to be resource, object given
错误级别：2