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本文详细介绍 SPEEDFAM-22B-6PV 双面研磨抛光机完整参数、精度指标、运行性能、结构优势及典型应用。SPEEDFAM-22B-6PV 为日本创技高精度双面研磨抛光设备,适用于半导体、硅片、蓝宝石、光学玻璃、精密陶瓷等脆硬材料精密加工。